工业超纯水设备是用于制备电阻率极高（通常≥10 MΩ・cm，最高可达 18.2 MΩ・cm）的超纯水的专用装置，广泛应用于电子半导体、医药制药、精密机械加工、光电显示、光伏、化工等对水质要求苛刻的领域。工业超纯水设备的制备需综合去除水中的电解质离子、有机物、微生物、颗粒物等杂质，常用技术包括：
反渗透（RO）
利用半透膜截留水中 95% 以上的离子、有机物和胶体，是预处理的核心步骤，可将电导率降至 10-100 μS/cm。
离子交换（IX）
阳树脂（H + 型）：交换水中阳离子（如 Ca²+、Na+），释放 H+；
阴树脂（OH - 型）：交换水中阴离子（如 Cl⁻、SO₄²⁻），释放 OH⁻；
混合床（混床）：阴阳树脂均匀混合，进一步深度脱盐，使电阻率达 15 MΩ・cm 以上。
电去离子（EDI）
结合离子交换和电渗析，通过电场驱动离子迁移，同时利用水电离产生的 H + 和 OH - 自动再生树脂，可连续生产超纯水（电阻率≥16 MΩ・cm），无需化学再生。
其他辅助技术
紫外线（UV）：分解有机物（如 TOC）、杀菌（破坏微生物 DNA）；
超滤（UF）/ 微滤（MF）：截留胶体、颗粒物（粒径≥0.1 μm）；
抛光树脂：终端精处理，去除痕量离子，确保电阻率稳定在 18 MΩ・cm。
